日本 KASUG 春日电机 KS-3101 真空兼容静电电位传感器
2025-03-05 16:29:31
admin
日本 KASUG 春日电机 KS-3101 真空兼容静电电位传感器
在真空中，缓解静电的气体成分很少，因此静电比在大气压环境中更能引起严重的生产问题。
真空对应静电势传感器由可在真空环境中使用的材料和组件制成，可用于测量真空中产生的静电。 它应用于确定真空过程中产生静电的原因，并持续监测静电电位。
特性
大气压和真空下的线性度
该图显示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意电压的充电板的电位测量结果。 即使在不同的压力环境下（真空下 10-3 Pa，大气压下 10+5 Pa），也可以在不校准的情况下获得相等的读数。
* 此数据为实际测量值，并非保证值。
测量真空兼容静电势传感器对真空室的影响
●脱气分析和比较
对传感器发出的脱气物的分析证实，气体的主要成分是水和微量碳氢化合物。 由于每个峰与在背景中测得的峰相同，因此认为它来自环境中吸附在传感器表面的气体。
● 极限真空度的比较
排气系统：涡轮分子泵 TG220FCAB 大阪真空设备制造
有限公司制造 抽速：220 L/sec （N2）
腔室尺寸：φ300 × L 300mm
* 此数据为实际测量值，并非保证值。
规范
| 型 | KS-3101 系列 |
|---|---|
| 检测方法 | 振动表面电位传感器 |
| 推荐使用的真空吸尘器 | 10 5Pa（大气压），10 -1~10 -5帕 |
| 测量范围 | HIGH 量程：0~±20.0kV（测量距离 100mm） LOW 范围：0~±2000V（测量距离 10mm） |
| 测量精度 | ± 10% 以内 |
| 报警 | 检测传感器故障 LED 指示 |
| 使用环境 | 温度：0~40°C，湿度 65% 或更低（无冷凝） |
| 质量 | 约 130 克（不包括电缆和控制箱） |
| 配置要点 | 真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度 1 m，可延长） 控制箱：KS-3101-B05（带大气侧电缆 5M，可伸缩） 控制器：KSD-0110 |
* 请客户准备真空法兰。
