日本 KASUG 春日电机 KS-3101 真空兼容静电电位传感器

日本 KASUG 春日电机 KS-3101 真空兼容静电电位传感器

在真空中，缓解静电的气体成分很少，因此静电比在大气压环境中更能引起严重的生产问题。

真空对应静电势传感器由可在真空环境中使用的材料和组件制成，可用于测量真空中产生的静电。 它应用于确定真空过程中产生静电的原因，并持续监测静电电位。

特性

大气压和真空下的线性度

该图显示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意电压的充电板的电位测量结果。 即使在不同的压力环境下（真空下 10-3 Pa，大气压下 10+5 Pa），也可以在不校准的情况下获得相等的读数。

* 此数据为实际测量值，并非保证值。

测量真空兼容静电势传感器对真空室的影响

●脱气分析和比较

对传感器发出的脱气物的分析证实，气体的主要成分是水和微量碳氢化合物。 由于每个峰与在背景中测得的峰相同，因此认为它来自环境中吸附在传感器表面的气体。

● 极限真空度的比较

排气系统：涡轮分子泵 TG220FCAB 大阪真空设备制造
有限公司制造 抽速：220 L/sec （N2）
腔室尺寸：φ300 × L 300mm

* 此数据为实际测量值，并非保证值。