长处

■单晶硅电极在世界范围内具有无与伦比的采用记录，避免了具有
超低颗粒特性的电极材料引起的金属污染风险。■ 脉冲直流方式的广泛静电消除能力
■ 由全数字电路控制， 更稳定的离子产生和长期的离子平衡
■ 通过在静电消除目标附近安装 5200-SR 外部传感器（可选），可以反馈控制静电消除目标附近的离子平衡，而不是离子发生器棒本身（如果未连接 5200-SR， 离子发生器棒体的内置传感器可自动调整离子平衡）
■ 设置
与 EFEM 相匹配的棒长度以进行半导体前端处理 ■ 离子发生输出、离子发生时间、警报阈值等。可以在很宽的范围内设置各种参数。 灵活适用于
长距离应用和气流较弱的环境 ■ 只需数字输入参数即可获得高再现性，并且可以在短时间内完成
设置 ■ 除了简单的警报 IO， 通过使用免费提供的 DLL，可以进行实时监控，有助于了解工艺设备的状态。